光學薄膜的特點及測厚檢測設備介紹

發(fā)布日期：2022-03-25      瀏覽次數(shù)：1627

光學薄膜的特點及測厚檢測設備介紹

由薄的分層介質(zhì)構(gòu)成的，通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W介質(zhì)材料。光學薄膜的應用始于20世紀30年代?，F(xiàn)代，光學薄膜已廣泛用于光學和光電子技術(shù)領(lǐng)域，制造各種光學儀器。

光學薄膜的特點是：表面光滑，膜層之間的界面呈幾何分割；膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變，但在膜層內(nèi)是連續(xù)的；可以是透明介質(zhì)，也可以是吸收介質(zhì)；可以是法向均勻的，也可以是法向不均勻的。實際應用的薄膜要比理想薄膜復雜得多。這是因為：制備時，薄膜的光學性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料，其表面和界面是粗糙的，從而導致光束的漫散射；膜層之間的相互滲透形成擴散界面；由于膜層的生長、結(jié)構(gòu)、應力等原因，形成了薄膜的各向異性；膜層具有復雜的時間效應。



測量方法	非接觸式/光譜干涉儀
測量對象	電子、光學用透明平滑薄膜、多層薄膜
測量原理	光譜干涉儀

產(chǎn)品特點

• 實現(xiàn)高測量重復性（± 0.01 μm 或更小，取決于對象和測量條件）

• 不易受溫度變化的影響

• 可以制造用于研究和檢查的離線型和制造過程中使用的在線型。

• 反射型允許從薄膜的一側(cè)測量

• 只能測量透明涂膜層（取決于測量條件）

產(chǎn)品規(guī)格

測量厚度	1 至 50 μm（用于薄材料）、10 至 150 μm（用于厚材料）
測量長度	50-5000 毫米
測量間距	1 毫米 ~
小顯示值	0.001 微米
電源電壓	AC100 伏 50/60 赫茲
工作溫度限制	5～45℃（測量時溫度變化在1℃以內(nèi)）
濕度	35-80%（無冷凝）
測量區(qū)域	φ0.6毫米
測量間隙	約 30 毫米