電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測

發(fā)布日期：2024-12-24      瀏覽次數(shù)：266

電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測

在半導(dǎo)體、電視、通訊設(shè)備等電子器件行業(yè)中，潔凈室中的分子污染物（AMC*）會影響產(chǎn)品和制造設(shè)備的性能，導(dǎo)致生產(chǎn)質(zhì)量缺陷。

*AMC=空氣分子污染

你有這樣的煩惱嗎？

• 手動分析需要成本、技能和時間。

• 我想知道什么時候更換化學(xué)過濾器合適。

• 電子元件模具的腐蝕

• 制造設(shè)備鏡片霧鏡

• 氧化膜耐壓性下降

• 蝕刻不良

• 薄膜生長不良（晶體中出現(xiàn)缺陷）

利用 HORIBA 的 AMC 監(jiān)控系統(tǒng)可視化污染狀況并降低管理成本

HORIBA的AMC監(jiān)測系統(tǒng)通過自動測量支持污染物濃度的趨勢監(jiān)測以及化學(xué)過濾器的維護(hù)和管理，補充了傳統(tǒng)的手動分析測量，為解決客戶的問題做出了貢獻(xiàn)。此外，通過結(jié)合室外大氣測量，我們可以提出更全面的測量解決方案。

特征

• 通過穩(wěn)定的自動連續(xù)測量
  來監(jiān)控污染趨勢，我們可以估計產(chǎn)品和外圍設(shè)備的缺陷原因，以及何時更換化學(xué)過濾器。

• 易于操作，
  無需特殊技能。減少行政成本、時間和人力成本

• 該系統(tǒng)可以根據(jù)您的需求進(jìn)行升級。
  使用選線器的多點測量、使用手推車的便攜式測量等（可選）

• 不僅支持潔凈室內(nèi)的大氣測量，還支持室外空氣的大氣測量。

操作示例



• 潔凈室或循環(huán)空氣中分子污染物 (AMC) 的測量

• 在一些設(shè)備周圍等地點進(jìn)行集中測量

• 檢測特定事件，例如由于交通流量（室外空氣）增加而導(dǎo)致的氮氧化物濃度增加

提高時間分辨率 獲取連續(xù)數(shù)據(jù)有助于 AMC 的早期檢測！

• 它可以捕獲測量值之間的詳細(xì)波動，這是每周手動分析無法捕獲的。



提高空間分辨率 通過多點測量估計 AMC 的來源！

• 它在大型工廠中特別有效，因為它可以通過切換線路，用一臺設(shè)備測量多個位置（10 個或更多）。



相關(guān)產(chǎn)品清單

APNA-370

氮氧化物（NOx）濃度測量裝置

APNA-370 [高靈敏度]

氮氧化物（NOx）濃度測量裝置

APNA-370/CU-2

氨（NH3）濃度測量裝置

APSA-370

硫氧化物（SO2）濃度測量裝置

APSA-370 [高靈敏度]

硫氧化物（SO2）濃度測量裝置

APSA-370/CU-1

硫化氫（H2S）濃度測量裝置

APHA-370

總碳?xì)浠衔铮═HC）濃度測量裝置

APOA-370

臭氧（O3）濃度測量裝置